歡迎來到南京聯俊流體技術有限公司網站!
      咨詢熱線

      13327836892

      當前位置:首頁  >  技術文章  >  高純氣體管路設計“七要點”

      高純氣體管路設計“七要點”

      更新時間:2024-07-24  |  點擊率:637

      高純氣體管路設計“七要點"

      1、氣體特性

      了解氣體特性,規劃獨立的供應區域。一般根據氣體特性分為三個區:腐蝕性/毒性氣體區、可燃性氣體區、惰性氣體區。將相同性質的氣體集中加強管理,可燃性氣體區要特別規劃防爆墻和泄漏口,若空間不足,可考慮將惰性氣體于毒性/腐蝕性氣體放置同一區域。

      2、輸送距離

      管路設計需要考慮輸送至用氣點的距離,距離越長,成本越高,風險越高。

      通常較合理的設計流速為20ml/S,可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S,在用量設計方面,則需要考慮使用點的壓力和管徑大小,前者與氣體特性有關,后者使用點的管徑一般為1/4"~3/8"。

      3、設備分布情況

      根據用氣設備的分布情況嗎,高純氣體的管網大小長短應適宜,不宜過大或過長;宜采用不封閉的環形管路,在末端連續不斷排放少量的氣體,以便在管網中總有高純氣體流通,不會發生“死空間"引起高純氣體的污染。

      4、減少管路“死區"

      管路中不應設有盲管,減少不流動氣體的“死區",在特種氣體的儲氣瓶與用氣設備之間應設吹掃控制裝置、多閥門控制裝置用以控制各個閥門的開關順序、系統吹除,以確保供氣系統的安全、可靠運行和防止“死區"形成而滯留污染物,降低氣體純度。

      5、輸送系統“分等級"

      對高純氣體純度要求不同的用氣設備,宜采用分等級高純氣體輸送系統;也可采用同等級輸送系統,但是在純度要求高的用氣設備臨近處設末端氣體提純裝置。

      6、采樣儀器及“采樣口"

      為了檢測高純氣體的純度和雜質含量,輸送系統除了設置必要的連續檢測儀器,如衡量水含量或者氧雜質等分析儀外,還應設置定期取樣用的檢測采樣口,以便按規定時間進行采樣,分析高純氣體中各種雜質的含量。

      7、確保氣體純度

      在亞微米級的集成電路生產中,要求供應10-9級的高純氣體,為了確保末端用氣工藝設備處的氣體純度,使氣體中的雜質含量(包括塵粒)控制在規定的數值內,一般在設備前設置末端純化裝置,或末端高精度氣體過濾器。


      主站蜘蛛池模板: 女神校花乳环调教| 67194线路1(点击进入)| 法国女人与动zozoz0z0| 国产香港特级一级毛片| 久久夜色精品国产欧美乱| 看黄网站在线看| 国产资源视频在线观看| 亚洲av综合色区无码一区爱av| 羞羞视频网站在线观看| 女人全身裸无遮挡图片| 久久综合九色综合97免费下载 | 国产人成视频在线观看| 一本色道久久88亚洲精品综合| 狠狠色综合色区| 国产精品欧美亚洲韩国日本久久| 丰满岳乱妇在线观看中字无码 | 大乳女人做受视频免费观看| 亚洲xxxxx| 粗壮挺进人妻水蜜桃成熟漫画| 国产精品美女久久久| 久久永久免费人妻精品下载| 深夜a级毛片免费视频| 国产一级一片免费播放i| 18禁黄污吃奶免费看网站| 夜夜嘿视频免费看| 久久久久久久99精品国产片| 欧美激情综合网| 四虎影视永久在线观看| 韩国精品福利一区二区三区| 妖精的尾巴ova| 久久精品国产亚洲av不卡| 波多野结衣无内裤护士| 国产成人在线观看网站| 99久无码中文字幕一本久道 | 日本娇小videos精品| 偷窥自拍10p| 青草青草伊人精品视频| 国产高清在线精品免费软件| 三级免费黄录像| 日韩精品无码一本二本三本| 亚洲精品一卡2卡3卡三卡四卡|